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Plasma Surface Treatment System

Pluto等離子清洗機 合作伙伴

清華大學 PLUTO-T

應用：玻璃樣品的有機物清洗
電子科大 PLUTO-MD

應用：晶元表面光刻膠的去除
上海交大 PLUTO-MC

應用：等離子表面涂覆鍍膜
復旦大學 PLUTO-30

應用：氣體化學反應
浙江大學 PLUTO-T

應用：硅片的表面改性

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應用案例

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News information

新聞資訊

等離子百科 2023-10-17
研究采用等離子清洗和配置清洗劑的方法來處理銅箔表面的氧化層及吸附的雜質裁剪1.5cm×1.5cm銅箔，放入等離子清洗機中，在低壓環境中，以氮氣作為工作氣體，輸出功率設置為60W，射頻頻率為13.56...

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等離子百科 2023-04-04
2.無輸出功率首先在射頻源的輸出接上50Ω的假負載，以此判斷是射頻源問題還是射頻源之后的故障。若是接上假負載以后功率指示為零，說明射頻源有問題，維修射頻源。若接上假負載后功率指示不為...

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21

2023-11

行業資訊

等離子清洗機處理硅薄膜與PDMS基底

利用等離子表面機處理硅薄膜表面以及柔性基底PDMS表面，針對等離子清洗機的不同工藝參數設置正交...
14

2023-11

行業資訊

等離子清洗機處理石墨烯

利用等離子清洗機處理高質量石墨烯，研究其與高質量石墨烯、氧化石墨烯、還原氧化石墨烯結構及...
09

2023-11

行業資訊

等離子清洗機處理SnO2薄膜晶體管

等離子清洗機主要功能有清洗、刻蝕以及表面處理，可以實現低成本環保運行。研究發現氧等離子體處...
09

2023-11

行業資訊

如何操作和維護等離子體清洗機

　　操作和維護等離子體清洗機需要一定的專業知識和技能。以下是一些常見的方面：　　等離子體技...
07

2023-11

行業資訊

等離子清洗機的清洗工藝探究

等離子清洗是利用等離子體中的高能粒子和活性粒子，通過轟擊或活化反應作用將金屬表面污物去除的...

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